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iPV-3000

iPV3000 第三代光伏離子注入設備(2017-)維持皮帶水平傳送硅片和固態磷離子源改進的大束流離子源,束流提升40%增加圖案化注入摻雜功能產能3000WPH。


iSolar  iPV3000特點:


高產能、低成本

高密度束流系統,束流密度>4.0mA/cm,實現設備產能3000WPH。采用固態磷作為摻雜源,摻雜成本0.3分/片(RMB)


兼容性強

傳送方式簡單。無需修改任何硬件,完全兼容不同硅片厚度(120-200μm)和尺寸(156-161.75mm)


雙離子源設計

保證設備高uptime。根據客戶需求,2個離子源可采用不同的摻雜源,一步實現p型和n型不同區域的摻雜。


圖案化注入功能

硅片自對準工藝保證對準精度,結合雙離子源實現圖案化注入。



本土制造和服務

全面質量管理生產,一流服務質量。


iPV3000 產品參數:

注入離子 : P+, B+

注入能量: 5 to 15 keV

產能: 3000wph

尺寸 L x W: 5.7m x 2.5m


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