scrolldown
離子注入

離子注入是通過對半導體材料表面進行某種元素的摻雜,從而改變其特性的工藝制程,在集成電路(IC)工業中得到廣泛的應用。作為離子注入制程的裝備—離子注入機,是先進IC生產線上最關鍵的工具之一,每年全球擁有15-20億美金的市場規模。


與熱擴散的摻雜技術相比,離子注入技術具有以下特點:單面準直摻雜、良好的摻雜均勻性和可控性、摻雜元素的單一性,而且很容易實現摻雜區域的圖形化。


這些特點給晶硅太陽能電池片的制造帶來了熱擴散所不具備的優勢—不僅可形成高質量的PN結、提高電池的轉換效率,而且可大大簡化多種高效電池的制造工序:常規電池的生產可以省掉去磷硅玻璃和邊緣刻蝕工藝;雙面電池的生產則可免去掩膜工序;此外, 背接觸電池所必需的分區摻雜可免去對準工序,這樣便大幅度降低了此類電池的制造成本。離子注入是提高電池效率、制造高效電池最經濟、最可靠地技術。


另外,由于省去了例如磷/硼擴散、去磷/硼硅玻璃以及邊緣刻蝕等有毒排放工藝,所以離子注入又能顯著降低電池片生產所造成的環境污染。


但是,IC離子注入機較低的生產率、昂貴的造價和龐大的占地面積,使得離子注入技術還沒有在光伏產業上得以普及應用。上海凱世通半導體有限公司根據太陽能電池工藝的實際情況和需求,為光伏產業量身訂制了大束流離子注入機—IonSolar。在硅片的傳輸和離子束流系統上,IonSolar應用了多項擁有自主知識產權的突破性重大技術:單一注入元素的“簾狀”寬幅離子束可無間斷地“淋浴”到勻速傳輸的單晶硅片上,實現穩定、均勻的元素摻雜,并保證了高效的生產率和較低的制造成本,為太陽能電池的產線升級和高效電池的生產提供了一條有效途徑。


IonSolar 特點:

? 生產率高

IonSolar擁有連續送片功能,單機產能可達1800片/小時,使得一條生產線只配備一臺機器成為可能,完全實現與現有產線產能的良好匹配。


? 占地面積小

IonSolar占地22m2,在不更改現有生產線布局的前提下實現技術升級。


? 制程成本低

IonSolar制程成本僅為同類產品的60%,投入低,投資回收周期短。


? 本土制造和服務

歐美質量標準,本土化服務,快速高效。


上海凱世通半導體有限公司由數位具有成功開發多代IC離子注入機經驗的海外知名專家團隊創立。我們建立了“一絲不茍,精益求精”的企業文化;我們實現了國際一流質量和性能的離子注入機的國產化;我們邁出了中國制造走上中國創造之路的重要一步!


在線咨詢
相關產品

產品咨詢

離子注入

  • 您感興趣的產品或品牌:

征服者入侵免费试玩